Elipsometría espectroscópica de ángulo variable: Una técnica para la determinación precisa de constantes ópticas y espesores

A. Martínez-García, I. Moreno, P. Velásquez, A. Salinas, R. Mallavia

Resumen


En este trabajo introducimos los aspectos básicos más relevantes de la técnica de elipsometría espectral de ángulo variable (Variable Angle Spectroscopic Ellipsometry, VASE). Esta técnica permite determinar con precisión las constantes ópticas de materiales (índice de refracción y constante de extinción), así como las propiedades ópticas de estructuras de multicapas. En particular, permite determinar el espesor de láminas delgadas depositadas sobre substratos previamente caracterizados. Presentamos algunos ejemplos de aplicación a la caracterización de láminas de polímero depositadas sobre substrato de BK7.

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