Capas delgadas y recubrimientos funcionales depositados mediante técnicas de vacío.

José M. Albella, Ramón Escobar Galindo, Cristina Gómez-Aleixandre, Ignacio Jiménez

Resumen


En este trabajo se destaca la importancia de las técnicas de vacío en la preparación de recubrimientos y capas delgadas funcionales, describiendo los fundamentos de los principales procesos de síntesis vía deposición física (PVD o Physical Vapour Deposition), o química (CVD o Chemical Vapour Deposition), así como sus últimos desarrollos técnicos. Finalmente se hace una revisión de los principales nichos de aplicación tecnológica de los materiales así depositados

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